更新時間:2023-07-28 訪問次數(shù):1014
Dy-100型自動定向儀用來對晶片質(zhì)量進行檢測的高精度設(shè)備:◆對天然或是人工合成的晶體如:SiO2、SiC、AL2O3等晶面角度精確測量;◆ 采用Omega(搖擺)掃描方式,對晶面半峰寬測量,用來表征晶體結(jié)晶狀態(tài)、取向度;◆對晶片(晶棒)的缺陷進行分析和正確評價;
Dy-100型自動定向儀用來對晶片質(zhì)量進行檢測的高精度設(shè)備:
◆對天然或是人工合成的晶體如:SiO2、SiC、AL2O3等晶面角度精確測量;
◆ 采用Omega(搖擺)掃描方式,對晶面半峰寬測量,用來表征晶體結(jié)晶狀態(tài)、取向度;
◆對晶片(晶棒)的缺陷進行分析和正確評價;
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