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自動定向儀

自動定向儀

簡要描述:

更新時間:2023-07-28   訪問次數(shù):1014

Dy-100型自動定向儀用來對晶片質(zhì)量進行檢測的高精度設(shè)備:

◆對天然或是人工合成的晶體如:SiO2、SiC、AL2O3等晶面角度精確測量;

◆ 采用Omega(搖擺)掃描方式,對晶面半峰寬測量,用來表征晶體結(jié)晶狀態(tài)、取向度;

◆對晶片(晶棒)的缺陷進行分析和正確評價;

Dy-100型自動定向儀用來對晶片質(zhì)量進行檢測的高精度設(shè)備:

對天然或是人工合成的晶體如:SiO2、SiC、AL2O3等晶面角度精確測量;

 采用Omega(搖擺)掃描方式,對晶面半峰寬測量,用來表征晶體結(jié)晶狀態(tài)、取向度;

對晶片(晶棒)的缺陷進行分析和正確評價;

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